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Physics of Radio-Frequency Plasmas PDF

Pascal Chabert

Date de parution

15 Dec 2004 ... The physics of helium and argon rf discharges have been investigated in the pressure range from 50 to 760 Torr. The plasma source consists of ...

9.18 MB Taille du fichier
9780521763004 ISBN
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Sofya Voigtuh

Low-temperature radio frequency plasmas are essential in various sectors of advanced technology, from micro-engineering to spacecraft propulsion systems and efficient sources of light. The subject lies at the complex interfaces between physics, chemistry and engineering. Focusing mostly on physics, this book will interest graduate students and researchers in applied physics and electrical

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Mattio Müllers

Physics of Radio-Frequency Plasmas | Request PDF Physics of Radio-Frequency Plasmas. Article · February 2011 with 291 Reads How we measure 'reads' A 'read' is counted each time someone views a publication summary (such as the title, abstract

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Noels Schulzen

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Jason Leghmann

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Jessica Kolhmann

Site du Laboratoire de Physique des Plasmas / LPP / UMR-7648. Laboratoire de Physique des Plasmas. UMR7648. École Polytechnique, route de Saclay, F-91128 PALAISEAU CEDEX. Sorbonne Université, Campus Pierre & Marie Curie, B.C. 90, 4 place Jussieu, F-75252 PARIS CEDEX 05 . …