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Physics of Radio-Frequency Plasmas PDF

Pascal Chabert

Date de parution

Striations in electronegative capacitively coupled radio-frequency plasmas: Effects of the pressure, voltage, and electrode gap. Physics of Plasmas 24, 073512 ...

9.18 MB Taille du fichier
9780521763004 ISBN
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Sofya Voigtuh

Physics of Plasmas is the largest journal in plasma physics publishing in all areas of experimental and theoretical plasma physics. Subject coverage includes plasma confinement, low-temperature plasmas, high-energy density plasma science, atmospheric plasmas, and nuclear plasma physics.

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Mattio Müllers

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Radiofrequency plasmas (rf plasmas) are formed in a flow of gas by an externally applied radio frequency field. 10.3.1.4.1 Inductively coupled plasmas (ICP).